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小蔡助理跟在后面冒出头,连忙将鞋子放在自家所长脚边。
“所长,鞋子。”
在众人的注视之下,罗甘有些尴尬的轻咳一声,将鞋子穿好,整理自己的发型。
“咳,听说你们有进展了?”
林曦月笑着点点头,“嗯,有点进展,准备测试。”
整理好发型的罗甘嘴唇有些抖的问道:“3nm?”
“嗯,具体数据还要先测试。”
她轻飘飘的一句肯定,却直击罗甘的心灵。
罗甘焦急的走进研究室,一眼就看到安静的伫立在空地上的光刻机。
在他的眼里,它的模样不亚于世间最美的美人。
他大步上前,有些痴迷的摸着那冰冷的外壳,“这就是3nm的光刻机...”
金玉堂他们并没有笑话他,毕竟自己刚才也是他那副模样。
严谨有些不好意思的摸摸鼻子,小声的问曹育华,“我刚才就是这样?”
怎么觉得有些变态呢?
曹育华眼含笑意的看了他一眼,“不是,你比他好看。”
等罗甘激动完了,林曦月才走上前跟他说开始测试。
知道测试为重的罗甘连忙让开,突然想到一个人,“等下,我让徐院士来看看。”
徐院士对光刻机已经研究了许多年,他也想让他见证这一个奇妙的时刻。
林曦月点点头,等罗甘联系徐院士。
徐院士的研究室就在他们同层楼,过来的很快。
他同样激动的看向光刻机,问出了跟罗甘一样的问题,“你们有进展了?”
不到一年的时间,想都不敢想的事情。
罗甘这时也恢复镇定,笑着将徐院士扶过来,“徐院士,快来看看他们的测试。”
林曦月站在光刻机的操作台前,开始一系列的操作。
开始的那一刹那,一个显示屏将它里面的操作放慢放大无数倍,足以让他们看清整一个过程。
只见发出的光在通过有图形的光罩对涂有光刻胶的薄片进行曝光,光刻胶在见到光之后开始产生变化,将光罩上的图形慢慢的复印到薄片上。
“检测分辨率。”
“好的老大。”严谨应了一声开始跟曹育华动手操作。
等一串数据展现在众人的眼前时,林曦月接着说道:“检测对准精度。”
......
随着一个个光刻机的性能测试,一串又一串的完美数据被一一的列出。
国际上最顶尖的光刻机,物理系统孔径仅为o.33,可以支持7nm和5nm制程的芯片。
但是这一个光刻机,国外都要耗费上百亿,耗时十几年才能完成。
他们却在短短不到一年的时间内,制造出3nm的光刻机。
要知道需要支持3nm芯片的制造,硅原子不到o.2nm,需要让一束激光准确无误地切开几个硅原子之间的连接。
这个操作比登天还难,但是他们做到了!
身为研究光刻机多年的老人,徐院士看着那一串串数据,不用林曦月宣布,他都知道3nm的光刻机,真的出现了!
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