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如此,1962年,我国成功制造出了第一代硅平面单晶管。1965年,研发出第一款光刻机。
陈春仙从事科研领域这么多年,想想后,算是被他说服。不过老陈同志仍然有他的考量。
“建昆呐,我不是不赞同你的想法,但是你想过两个问题吗。
<divclass="tentadv">“第一,科院包括其他单位的研究员们,他们精通的领域各不相同。比如说我们研发姨妈巾和尿不湿,主要仰仗的是材料学的研究员,如果我们致力于研究电子科技,他们还能参与进来吗,能与我们同行吗?
“不是每个人都有创业的勇气的。”
陈春仙叹息一声后,继续说道:“第二,当前经济形势如此艰难,一个姨妈巾技术卖出一百万,尿不湿技术卖出三百万,是个企业都渴望新型技术。
“值此危难之时,我们难道不应该包罗万象,尽快从各个领域中孵化出更多的新技术,帮助社会走出经济泥沼吗?”
李建昆沉默,老陈的话自然没有错。只是他二人视界不同,一个主看当下,一个着眼未来。
“这样吧。”
他思忖后,做出让步,说道,“我同意科技大楼建成后,分出多个部门,做不同种类的研发,但有一点,核心部门必须研发电子科技,由你亲自主持。”
老陈想想后,点点头,“也好。”
复又问道:“电子科技是一个很笼统的概念,你打算研究啥?你以前说的芯片?不是我说啊建昆,这玩意是个系统工程……”
“不。”李建昆打断他道,“研究光刻机。”
去年和老陈长聊几回后,他认真思考过,想靠一个研究单位,把芯片弄出来,确实有点不切实际。既然如此,芯片这个系统工程中的其他环节,他再想办法,日后慢慢整合。中关村这个实验室,则研究最基础最核心的东西——光刻机。
老陈挠挠头道:“其实研究光刻机的,周边有两家机构呀。”
是啊,可他们最后都会放弃。
李建昆有这个计划后,自然打听过。目前国内研究光刻机整机的仅有的两家单位,全在方圆五公里内。
这是一个很好优势。
第一家是科院微电子所。1965年我国一款光刻机——65型接触式光刻机。正是由他们联合魔都电子仪器厂,一起研发出来的。
不过现在似乎不太重视了,很多年没听说过有成果。
第二家在清华。清华有个精密仪器系。62年在旁边建起一个“精密光学仪器加工厂”,也被称为“9003实验基地”或“9003所”。
国内当下最先进的光刻机技术,全在里头。
1971年,他们研制出了第一台光刻机和分步重复照相机。这台光刻机与65年那款不同,它可以投入规模化生产。即世界光刻机领域划分中的,第一代光刻机。
1980年,他们又研发出了自动对准分步投影光刻机。即第二代。
众所周知,光刻机发展到2020年代时,共有五代。
一代和二代,从性质上讲,均为接触接近式光刻机。
第三代为扫描投影式光刻机。
第四代为进步扫描投影式光刻机,不同之处主要在于,使用了激光光源,使得芯片的制程和生产效率,大幅跃升。
第五代,即EUV光刻机。
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